Luftfeuchtigkeit ist eine häufige Umgebungsbedingung beim Betrieb von Reinräumen. Der Zielwert der relativen Luftfeuchtigkeit im Halbleiter-Reinraum wird auf einen Bereich von 30 bis ... geregelt.
1. Bei allen Arten von Luftfiltern und HEPA-Luftfiltern ist es nicht gestattet, den Beutel oder die Verpackungsfolie vor der Installation mit der Hand zu zerreißen oder zu öffnen. Der Luftfilter sollte unter strikter Einhaltung der ... gelagert werden.
Die Wartung von HEPA-Luftfiltern ist ein wichtiges Thema. Lassen Sie uns zunächst verstehen, was ein HEPA-Filter ist: Der HEPA-Filter wird hauptsächlich zum Auffangen von Staub und verschiedenen Schwebstoffen unter 0,3 µm verwendet.
1. Staubpartikel in der Luft werden durch Trägheitsbewegung, zufällige Brownsche Bewegung oder durch eine Feldkraft bewegt. Trifft die Partikelbewegung auf andere Objekte, entsteht die Van-der-Waals-Kraft.
